合作夥伴
ATT Systems
ATT Systems 是德國半導體溫控測試技術的領導廠商，已逐步發展為成熟可靠的技術夥伴，專精開發晶圓測試用的先進熱管理方案。ATT 獨特的模組化混合技術整合冷、熱系統，以及氣冷與液冷式 Chuck，可依 prober 機型與測試需求彈性配置。
ATT Systems 持續提升品質、可靠度與服務支援，致力優化客戶的整體使用體驗。威致科技為 ATT Systems 的台灣合作夥伴，提供溫控 Chuck、低溫升級與 Chiller 方案的諮詢、導入與技術支援。
應用與解決方案
低溫升級（Cold Upgrade）
• 適用多種 prober 機型的低溫升級方案：P8XL、P12XL、PrecioXL、UF2XXX、UF3XXX
• 現場密封升級，7–10 個工作天內完成
擴充模組（AddOn）
• 可依應用配置的模組化堆疊
• HV/HC（10KV/500A）、LN、Plain、AddOn Technology Caro、翹曲基板
移動式冷卻機（Moveable Chiller）
• 一台 Chiller 可由多台「cold ready」prober 共用
• 自封式快速接頭，自動偵測 Chiller
乾燥空氣控制（Dry Air Control）
• 進階乾燥空氣控制，可使用兩種獨立氣體吹淨（如 CDA、N2）
• 防止銅墊氧化
• 自適應露點控制，降低 CDA 用量
高功率／高精度（High Power/Accuracy）
• 低熱阻 Chuck，適用高精度應用
• 300mm 晶圓絕對均勻度 ±0.2°C
• -40°C 下散熱能力達 2000W
100 %品質
100 %可靠度
100 %服務