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Gel-Probe 清針片|精密探針清潔技術
Gel-Probe 清針片採用非研磨性 Gel 材料設計,可有效去除探針上的殘留顆粒與污染物,適用於各類 Probe Card(MEMS、Vertical、Cantilever)。
產品具備良好的彈性與低接觸力特性,可在不損傷探針的情況下完成清潔,廣泛應用於 Wafer Sort 與參數測試流程中。
Gel-Probe Product Structure
Gel-Probe 多層結構
Gel-Probe 清針片採多層結構設計,兼顧清潔效率與機械穩定性。
透過精密材料配置,有效降低探針磨損與污染風險。
適用於高精度半導體測試環境,確保長期穩定運作。
透過精密材料配置,有效降低探針磨損與污染風險。
適用於高精度半導體測試環境,確保長期穩定運作。
Probe Cleaning Solution – FT / CP
本表針對Gel probe清針片於 FT與CP製程之應用條件差異,彙整對應之清針材料規格與選型參數。
內容涵蓋品牌與型號配置、材料組成、顆粒尺寸、結構形式、厚度設計及操作溫度範圍等技術指標。
| 項目 | FT | CP |
| 品牌 | SCS | Gel-Pak |
| 型號 | MSI5105 / MSC1505 | ReFine / ReMove / ReCover |
| 適用條件 | 1. Pogo pin 2. 彈簧 pin |
MEMS / Vertical Probe Card |
| 主要成分 | SiC | SiC |
| 顆粒尺寸 | 3–6 μm 💬 |
0.5–5 μm |
| 顏色 | Grey | Grey |
| 樣式 | 砂膠含金鋼砂泡棉式 | 砂膠含金鋼砂泡棉式 |
| 溫度範圍 | -40°C ~ 150°C | -60°C ~ 200°C 💬 |
| 清洗方式 | 沾點 | 沾點 |
| 厚度 | 0.25 ± 0.03 mm | 200 mm wafer:958 ± 30 μm Clean Sheet:385 ± 20 μm |



