Gel-Probe 清針片

Gel-Probe 清針片|精密探針清潔技術

Gel-Probe 清針片採用非研磨性 Gel 材料設計,可有效去除探針上的殘留顆粒與污染物,適用於各類 Probe Card(MEMS、Vertical、Cantilever)。

產品具備良好的彈性與低接觸力特性,可在不損傷探針的情況下完成清潔,廣泛應用於 Wafer Sort 與參數測試流程中。

Gel-Probe 多層結構

Gel-Probe 清針片採多層結構設計,兼顧清潔效率與機械穩定性。
透過精密材料配置,有效降低探針磨損與污染風險。
適用於高精度半導體測試環境,確保長期穩定運作。

Probe Cleaning Solution – FT / CP

本表針對Gel probe清針片於 FT與CP製程之應用條件差異,彙整對應之清針材料規格與選型參數。

內容涵蓋品牌與型號配置、材料組成、顆粒尺寸、結構形式、厚度設計及操作溫度範圍等技術指標。

項目 FT CP
品牌 SCS Gel-Pak
型號 MSI5105 / MSC1505 ReFine / ReMove / ReCover
適用條件 1. Pogo pin 2. 彈簧 pin MEMS / Vertical Probe Card
主要成分 SiC SiC
顆粒尺寸 3–6 μm 💬 0.5–5 μm
顏色 Grey Grey
樣式 砂膠含金鋼砂泡棉式 砂膠含金鋼砂泡棉式
溫度範圍 -40°C ~ 150°C -60°C ~ 200°C 💬
清洗方式 沾點 沾點
厚度 0.25 ± 0.03 mm 200 mm wafer:958 ± 30 μm Clean Sheet:385 ± 20 μm

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